电感耦合等离子体质谱仪工作原理是根据被测元素通过一定形式进入高频等离子体中，在高温下电离成离子，产生的离子经过离子光学透镜---后进人四极杆质谱分析器按照荷质比分离，高分辨icp-ms经销商，既可以按照荷质比进行半定量分析，也可以按照特定荷质比的离子数目进行定量分析。该类型质谱仪主要由离子源、分析器和检测器三部分组成，还配有数据处理系统、真空系统、供电控制系统等。
icp-ms仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外，高分辨icp-ms，与发射光谱中使用的基本相同。所使用的分析器、离子检测器和数据采集系统又与四极杆gc-ms仪器相类似。分析器多采用四极杆质谱计，也有采用具有高分辨的双---扇形磁场质谱计、飞行时间质谱计等。该技术的特点：灵敏度高；速度快，高分辨icp-ms生产厂家，可在几分钟内完成几十个元素的定量测定；谱线简单，干扰相对于光谱技术要少；线性范围可达7～9个数量级；样品的制备和引入相对于其他质谱技术简单；既可用于元素分析，还可进行同位素组成的快速测定；测定精密度(rsd)可到0.1%。
icp-ms全称电感耦合等离子体质谱（inductively coupled plasma mass spectrometry），可分析几乎地球上所有元素（li-u）。
icp-ms技术是80年代发展起来的新的分析测试技术。它以将icp的高温（8000k）电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的强有力的元素分析、同位素分析和形态分析技术。
该技术提供了极低的检出限、极宽的动态线性范围、谱线简单、干扰少、分析精密度高、分析速度快以及可提供同位素信息等分析特性。
自1984年台商品仪器问世以来，这项技术已从在地质科学研究的应用迅速发展到广泛应用于环境保护、半导体、生物、医学、冶金、石油、核材料分析等领域。被称为当代分析技术激动人心的发展。
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